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क्लिन रुम सुविधा

सेंटर फॉर सेंसर एंड विजन टेक्नोलॉजी एंड कंट्रोल के तहत, सेंसर प्रौद्योगिकी विकास के लिए एक सुविधा बनाई गई है।इस सुविधा में माइक्रो सिस्टम पैकेजिंग, लक्षण वर्णन और बुनियादी निर्माण के लिए सभी आवश्यक प्रक्रियाएं शामिल हैं।ये सभी प्रक्रियाएं सुविधाओं के आकार और प्रक्रियाओं के संचालन के लिए आवश्यक सफाई के कारण स्वच्छ कमरे के वातावरण की मांग करती हैं।इसलिए इन सभी प्रक्रियाओं को समायोजित करने के लिए, क्लास1000 (आईएसओ6), 10000 (आईएसओ7) और 100000 (आईएसओ8) के स्वच्छ कमरे बनाए जाते हैं।क्लास 100 (आईएसओ5) आईएसओ8 सुविधा के भीतर एक लामिनार के प्रवाह के तहत भी बनाया गया है।

आईएसओ 6 साफ कमरे पीले कमरे हैं जो मुख्य रूप से लिथोग्राफी और निर्माण उद्देश्यों के लिए समर्पित हैं।अन्य आईएसओ 5, 7 और 8 साफ कमरे सफेद प्रकाश आधारित हैं जो पैकेजिंग, लक्षण वर्णन और कुछ निर्माण के लिए समर्थन करते हैं।आईएसओ 5 साफ कमरे में फ्लिप चिप बॉन्डिंग, हॉट एम्बॉसिंग और इलेक्ट्रोप्लेटिंग शामिल हैं।आईएसओ 6 साफ कमरों में मास्क एलाइनर, स्पिन कोटिंग के साथ गीले बेंच, मास्क राइटर, नैनो छाप लिथोग्राफी और वेफर बॉन्डिंग शामिल हैं।आईएसओ 7 क्लीन रुम में तार बोडिंग, बोंड परीक्षण और ऑप्टिकल लक्षण वर्णन शामिल हैं।